Bộ Lọc Khí Sạch SF

Thể loại

Dòng / CAD

Áp lực vận hành

Lọc

Đĩa loại hộp mực

SFA100 / 200/300 

Tối đa 1,0 MPa
(Chân không: 1,3 x 10 ^-6 kPa)

0,01 μm
(Hiệu suất lọc
99,99%)

Hộp mực loại thẳng

SFB100 

Tối đa 1,0 MPa
(Chân không: 1,3 x 10 ^-6 kPa)

Đặc trưng

Loại hộp mực cho phép thay thế phần tử.

Loại dùng một lần thẳng

SFB300 

Tối đa 15 MPa
(Chân không: 1,3 x 10 ^-6 kPa)

0,01 μm
(Hiệu suất lọc
99,99%)

Loại dùng một lần
nhiều đĩa

SFC100 

Tối đa 1,8 MPa
(Chân không: 1,3 x 10 ^-6 kPa)

Đặc trưng

Loại nhỏ gọn dùng một lần cho ngành bán dẫn